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n-seisen半導(dǎo)體氣體過濾器介紹

發(fā)布時(shí)間：2023-05-29　點(diǎn)擊量：1322

n-seisen半導(dǎo)體氣體過濾器介紹

NASclean®是由微米級不銹鋼短纖維（SUS316L）燒結(jié)而成的薄層金屬膜過濾器。 通過從過濾介質(zhì)（不銹鋼短纖維）到最終產(chǎn)品的一體化生產(chǎn)，我們?yōu)榘雽?dǎo)體、平板顯示器、太陽能電池板等生產(chǎn)過程中使用的氣體的過濾做出貢獻(xiàn)。

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用于工藝氣體

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  • 這是世界上使用不銹鋼短纖維的金屬膜過濾器。

  • 低壓降和高顆粒性能。

  • 適用于100 SLM或更低的流量，可用于各種工藝氣體。

用于散裝氣體

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  • 過濾介質(zhì)的褶皺形狀即使在高流速下也能實(shí)現(xiàn)低壓降。

  • 高溫烘烤是可能的，因?yàn)樗侨饘俚摹?/span>

  • 3000牛米3支持高達(dá) /hr 的高流速。

用于設(shè)備保護(hù)

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  • 用于保護(hù) MFC、閥門、調(diào)節(jié)器和其他設(shè)備的過濾器。

  • 根據(jù)使用條件，可以選擇低壓型和高壓型。

  • 可與現(xiàn)有管道一起安裝。

用于 IGS 面板

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  • 集成氣體面板過濾器，兼容 1.125W 密封、1.125C 密封和 1.5W 密封。

  • 通過采用褶皺介質(zhì)實(shí)現(xiàn)緊湊的尺寸。

  • 機(jī)械密封用于在介質(zhì)部分創(chuàng)建無焊接結(jié)構(gòu)。

用于差異器

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  • 褶皺介質(zhì)可實(shí)現(xiàn)高速排氣。

  • 防止顆粒纏繞，有助于提高產(chǎn)品產(chǎn)量。

  • 可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計(jì)。